韓國雙雄搶單ASML新型光刻機
近日,有消息稱,韓國半導體制造商三星和SK海力士正在準備下單ASML的全新High-NA EUV光刻機。ASML表示,新的High-NA EUV光刻機將成為實現2納米制程工藝的關鍵設備。預示著2納米制程工藝的競爭將更加激烈。 EUV光刻機是先進制程得以延續的必備設備,ASML是全球第一大光刻機設備商,同時也是全球唯一可提供EUV光刻機的設備商,來自各大半導體廠商的訂單早已堆積成山。因此,去年AS
2022-10-25 09:54:16
來源:中國電子報、電子信息產業網??
作者:許子皓

近日,有消息稱,韓國半導體制造商三星和SK海力士正在準備下單ASML的全新High-NA EUV光刻機。ASML表示,新的High-NA EUV光刻機將成為實現2納米制程工藝的關鍵設備。預示著2納米制程工藝的競爭將更加激烈。

EUV光刻機是先進制程得以延續的必備設備,ASML是全球第一大光刻機設備商,同時也是全球唯一可提供EUV光刻機的設備商,來自各大半導體廠商的訂單早已堆積成山。因此,去年ASML就已經提高了兩次生產目標,希望到2025年,其年出貨量能達到約600臺DUV(深紫外光)光刻機以及90臺EUV(極紫外光)光刻機。

而此次升級后的High-NA EUV光刻系統將提供0.55數值孔徑,相較于配備了0.33數值孔徑透鏡的EUV系統,精度將更高,可以實現更高分辨率的圖案化,以及更小的晶體管特征,成為實現2納米制程工藝的關鍵設備。

ASML預計明年將向客戶交付首臺High-NA EUV光刻機,交付后,EUV光刻機將不再是最先進的設備,理論上就能夠實現自由出貨。

所有想要競爭2納米市場的玩家都對這臺全新的光刻機勢在必得。英特爾率先宣布訂購High-NA EUV光刻機,還宣布了一個集成半導體公司(IDM 2.0)的戰略,目標是重回晶圓代工市場。

臺積電也表示將在2024年購買ASML的High-NA EUV光刻機,目標是在2025年量產2納米制程工藝。

而韓國雙雄三星和SK海力士也表示將加入訂單大戰。以三星電子為例,其現有的EUV光刻機估計花費了10億到15億元人民幣,而High-NA EUV光刻機則估計將達到25億元人民幣,以爭取在2025年的2納米之戰中取得先機。

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